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內(nèi)蒙古空壓機(jī)真空泵特點(diǎn)及其他常見中低真空泵比較

2022-08-08 10:43:20

真空技術(shù)應(yīng)用廣泛,真空獲取是真空應(yīng)用研究的基礎(chǔ)。顧名思義,內(nèi)蒙古空壓機(jī)廠家的真空獲取設(shè)備用于抽氣封閉容器,創(chuàng)造真空環(huán)境。根據(jù)抽氣原理,真空獲取設(shè)備可分為氣體捕獲式和氣體輸送式,其中氣體輸送式可細(xì)分為變?nèi)菔胶蛣?dòng)力輸送式。

隨著現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)的不斷發(fā)展和創(chuàng)新,真空的應(yīng)用范圍越來越廣,對(duì)真空獲取設(shè)備的要求也越來越高。在傳統(tǒng)的油封機(jī)械泵中,泵油可以潤(rùn)滑泵腔,密封泵腔,但對(duì)于真空環(huán)境,一旦泵油回流到真空環(huán)境會(huì)污染真空腔,另一方面,工藝氣體也會(huì)與泵油反應(yīng),泵油容易惡化,影響真空泵的穩(wěn)定運(yùn)行。

特別是在半導(dǎo)體、航空航天、微電子、光伏、微納加工、真空涂層等領(lǐng)域,對(duì)真空環(huán)境和真空設(shè)備的要求較高,不僅要求清潔、無油、高真空,而且要求設(shè)備運(yùn)行穩(wěn)定可靠、節(jié)能環(huán)保。

干式真空泵運(yùn)行時(shí)泵腔無油,即泵腔無油潤(rùn)滑密封,內(nèi)蒙古空壓機(jī)不影響真空環(huán)境,真空環(huán)境清潔度高;不同的干泵有不同的應(yīng)用,一般要求及時(shí)去除易燃、易爆、腐蝕、冷凝氣體等。

常見的機(jī)械干泵有羅茨、螺桿、爪、往復(fù)、渦旋等。螺桿干真空泵具有結(jié)構(gòu)緊湊、泵腔無油、轉(zhuǎn)子與轉(zhuǎn)子、轉(zhuǎn)子與泵腔無接觸等優(yōu)點(diǎn),可應(yīng)用于復(fù)雜的工作環(huán)境,運(yùn)行可靠,使用壽命長(zhǎng)。

螺桿真空泵是一種干式真空泵,表1給出了中低真空泵的常見特點(diǎn)和優(yōu)缺點(diǎn),螺桿真空泵具有以下特點(diǎn):

(1)抽真空時(shí),泵油進(jìn)入真空室污染真空環(huán)境,工藝氣體污染泵油,影響泵的穩(wěn)定運(yùn)行。螺桿真空泵是一種干式真空泵,轉(zhuǎn)子腔室無油。

(2)適應(yīng)性強(qiáng)。螺桿真空泵泵速度高,只有一個(gè)螺桿真空泵才能獲得更高的真空度,可以直接從大氣壓抽到1Pa以下,無需與其他泵串聯(lián),抽氣性能優(yōu)異,抽氣速度穩(wěn)定,節(jié)能高效;對(duì)于一些腐蝕性氣體,可在轉(zhuǎn)子表面和泵腔表面進(jìn)行涂層,以提高轉(zhuǎn)子和泵體的表面性能。同時(shí),轉(zhuǎn)子之間有一定的間隙,在運(yùn)行和組裝過程中不會(huì)損壞涂層。

(3)結(jié)構(gòu)緊湊,可靠性高。內(nèi)蒙古空壓機(jī)螺桿真空泵通過一對(duì)螺桿轉(zhuǎn)子同步旋轉(zhuǎn)。間隙的存在使轉(zhuǎn)子在運(yùn)行過程中不會(huì)因熱膨脹而卡住。同時(shí),一些含粉塵的顆粒氣體和易燃易爆氣體也可以去除。

(4)故障少,維護(hù)方便。泵腔內(nèi)只有一對(duì)螺桿轉(zhuǎn)子,工作穩(wěn)定,安全高效。

(5)氣體通路較短。泵內(nèi)氣體輸送路徑較短。對(duì)于等螺距螺桿轉(zhuǎn)子,氣體在輸送過程中不會(huì)壓縮,避免反應(yīng)堆積,有利于氣體的快速排放。

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